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ImageMaster® PRO 10 Wafer工业型光学传递函数测量仪（镜头和晶圆专用）
德国全欧光学（TRIOPTICS）制造的ImageMaster® PRO 10 Wafer 以满足新一代晶圆级镜头在生产过程中的成像质量保证要求。
产品特点：
* 测量精度为0.8%轴上MTF和1.5%轴外MTF
* 每个样品的测量时间为1.3秒（2700 UPH）
* 晶圆弯曲度和高精度FFL（法兰焦距）测量
* 晶圆尺寸：最大8英寸/200mm（矩形或圆形）
* 倾斜校正功能（弯曲度补偿）
* 带有动态安装和晶圆旋转、移位调整工具，可实现轻松装载
* 测量可溯源至国际标准
* 可与洁净室兼容
产品型号及技术指标：
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产品型号 |
ImageMaster®PRO 10 Wafer |
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设备类型 |
台式设备 |
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光路设置 |
无限-有限共轭 |
| 最大空间频率 | 400 lp/mm |
| 轴上MTF测量精度 | 0.8% MTF（高达350 lp/mm）① |
| 轴外MTF测量精度 | 1.5% MTF（高达350 lp/mm）① |
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有效焦距测量精度 |
5μm/0.3% |
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法兰焦距测量精度 |
4μm |
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轴上测量时间 |
1.3s ② |
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所有离轴曲线测量时间 |
1.3s ② |
| 样品吞吐量（每小时产出） |
2400 UPH ④ |
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测量点 |
53（27个现场位置/摄像机②） |
| 尺寸（高×宽×深） |
1570mm × 1340mm × 810mm |
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重量 |
240kg |
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托盘尺寸 |
托盘 220mm×220mm |
| 样品架/托盘 |
三点运动安装托盘，具有经过认证的参考平面度 |
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样品质量等级 |
4级 |
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洁净室等级FS 209/ISO 14644-1 |
100 / ISO 5 |
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光源 |
卤素光源（白色LED可选） |
| 滤光片 | 可见光（近红外可选）-尽可能所有滤光片-标准适光眼滤光片 |
| ACM |
安装自准直仪 |
① 根据MTF峰值测量精度
② 取决于样品
④ 1个托盘包括148个样品/托盘更换时间5秒
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